低温灰化仪

仪器名称：等离子体低温灰化仪

仪器型号：K1050X

生产厂家：英国Emitech

仪器简介：

等离子体低温灰化仪主要通过等离子体与固体表面的相互作用，消除固体表面的有机污染物，同时可以用等离子处理系统对样品表面进行处理，改善样品表面的特性，如亲水/疏水特性，表面自由能，以及表面的吸附/粘附特性等。

主要技术参数：

仪器尺寸：450mm W x 350mm D x 300mm H；

桶形工作腔室：耐热玻璃 160mm L x 110mm Dia (硼硅酸盐玻璃为标准配置)；

等离子输出：射频电源-固态150瓦射频峰值，通常操作范围在25到75 瓦 @ 13.56mhz.(备注：所使用的频率为国际标准组织CISPR认可的“工业”频率)；

真空测量范围：完整的操作真空显示的活性计量头（ATM - 1x10^-5 mbar。全刻度-通常操作真空为0.4mbar到1.0mbar）；

数字计时单元：99.9小时选择范围时间显示。在灰化过程结束后自动终止；

双气体流控制：双气体针阀控制，可选1或2或两种气体（校准5到 100cm3/分 空气 @ A.T.P.）；

重量：25Kg

电源：220/240V 50Hz (包括泵最大电流5 Amp)

110/120V 60Hz (包括泵最大电流10 Amp)；

真空泵：No2.泵（具有用于氧化或腐蚀处理气体的人造油）。

应用范围：

生物芯片领域；医用材料、光学材料研究；电子半导体领域；高分子材料研究；电化学、高端零部件处理；有机材料的灰化、刻蚀