仪器名称：场发射扫描电子显微镜
仪器型号：Quattro S
生产厂家：Thermo Fisher Scientific/FEI
研究各种各样的材料，并进行结构和成份表征，是目前对扫描电镜的主流应用要求。Quattro S系列灵活、通用，足以应对当今人们广博的研究方向这一挑战。“分析任何样品，得到所有数据”，Quattro S上可得到表面像和成份像，并可辅以多种附件来确定材料的性质和元素组成。
主要技术参数：
1、电子光学
1）电子枪：肖特基场发射电子枪
2）物镜光阑：能自加热自清洗，无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑
3）加速电压: 200 V - 30 kV
4）束流范围: 1pA~200 nA
5）放大倍数: 6倍到250万倍 (四幅图像显示)
2、分辨率
1）高真空
30 kV下1.0 nm (SE)
30 kV下2.5 nm (BSE)*
1 kV下3.0 nm (SE)
3）低真空
30 kV下1.3 nm (SE)
30 kV下 2.5 nm (BSE)
3 kV下3.0 nm (SE)
4）环境真空 (ESEM)
30 kV下1.3 nm (SE)
3、检测器
高真空模式二次电子检测器、低真空模式气体二次电子探头、环境真空模式气体二次电子探头、定向背散射电子探测器、样品室红外CCD相机、样品台导航相机、可伸缩阴极荧光探测器
4、真空系统
1）由涡轮分子泵、离子泵、机械泵组成
2）样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa
3）样品室真空度(低真空模式) 10 to 200 Pa
4）样品室真空度(环境真空模式) 10 to 4000 Pa
5）典型换样时间: 高真空模式≤ 3.5min；低真空及环境真空模式≤4.5 min (标准测试程序)
5、样品室
1）左右内径340mm
2）10 mm分析工作距离
3）12个探测器 / 附件接口
6、样品台
1）X/Y = 110 mm
2）Z = 65 mm
4）T：- 5° to + 90°
5）连续旋转360°
6）重复精度: 3μm (X/Y方向)
7）五轴马达驱动，全对中样品台
7、图像处理器
1）最大6144 x 4096像素
2）图像文件格式：TIFF, BMP or JPEG
3）单窗口或四窗口图像显示
4）四活动窗口
5）实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合
6）智能扫描SmartScan(256 帧平均或积分,线积分或平均，隔行扫描）
7）数字动画记录 (.avi格式)
8）直方图及图像测量软件
9）DCFI (漂移补偿积分)
应用范围：
Quattro S场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势，可对各种各样的样品（包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等）进行高分辨的静态和动态观察和分析。典型应用有如:
1.纳米表征：1）金属及合金, 氧化/腐蚀, 断口, 焊点, 抛光断面, 磁性及超导材料2）陶瓷, 复合材料, 塑料3）薄膜/涂层地质样品断面, 矿物4）软物质: 聚合物, 药品, 过滤膜, 凝胶, 生物组织, 木材5）颗粒, 多孔材料, 纤维；
2.原位过程分析：1）增湿/去湿 2）浸润行为/接触角分析 3）氧化/腐蚀 4)拉伸 (伴随加热或冷却) 5）结晶/相变；
3.纳米原型制备：1）电子束曝光 (EBL)2）电子束诱导沉积(EBID)。